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同時極紫外光刻機的光路系統要求考慮的因素非常多，因為極紫外光刻機的光子能量非常高，幾乎所有的材料都會吸收極紫外光。 而吸收了極紫外光必然會發熱，發熱就會帶來材料的變形。對於需要奈米級成像的光刻機來說，簡直就是災難，基本就無法使用了。 如果不加控制，光路系統還有被燒燬的風險。 所以極紫外光刻機裡，光源和每一面鏡子的背後都有非常高效的冷卻裝置，把極紫外光照射產生的熱量及時帶走。 最後，光刻機研發真正困難的是成像質量補償。光刻機對光刻圖形的要求是近乎完美的，但裝置的生產是不可能做到完美的，鏡頭使用的材料不可能做到完美。 鏡頭打磨不可能做到完美，鏡頭組裝也不可能做到完美。同時鏡頭材料和支撐材料都必然存在熱脹冷縮的問題。 這些問題都會給最終成像效果帶來誤差，而且很多成像誤差是不斷變化的。 必須透過一系列辦法進行校準和修正，甚至要求透過軟硬體結合的自動化控制來實現實時成像補償，這才是真正的難點。 還需要大量精密控制裝置的支援專利。不僅實現起來非常困難，還要面臨大量的專利陷阱。 這光刻機，本來就是十幾個發達國家，聯合研製出來的一個產品，涉及到的行業之廣，設計到的儀器之頂尖，都是咱們暫時達不到的。 只能說咱們開局太晚了啊！綜合那麼多高階的精密儀器，我們搞不來……” 陳小川聽了之後點點頭，眾人也是聽的雲裡霧裡，但是最終還是知道一個結論， 這光刻機，不好造！ 但是陳小川又說： “李院士說得對，也是說的很全面。這的確是我們的一個不足之處，不，這是我們的很多不足之處。 我們沒有那麼多高階的儀器製造，沒有那麼精密的儀器，裝置，甚至在光學上，我們也比不過卡爾蔡司。 但是咱們華夏人最不缺的就是創新精神，難道說咱們這晶片製造只能依靠光刻機嗎？ 沒了張屠夫，咱們就要吃帶毛豬？不，不可能，一定有其他的替代方案。 光刻機的複雜和精密以及小型化是他的一大優點，但是我覺得這也正是他們光刻機的一個缺點。 正是因為他們要把光刻機當做一個商品售賣，所以他們不得不做的精細，做的方便運輸，所以一定要適合運輸，只能做那麼大一點兒～” 聽了這個回答，李院士也是點點頭，然後李院士說： “是的，小川說的對，光刻機可以說是工業上的一顆明珠，是高階科技的集大成者！！ 但是荷蘭生產的光刻機基本上是外貿型的光刻機，產品不是送到鷹醬，就是送到灣灣那邊。 所以在體積上做的不是很大，畢竟要透過海運從荷蘭運到別處。 但是送到我們這裡的光刻機，都不是最新一代的光刻機，都要比最新一代落後一代或者兩代才行，這就是為了讓華夏的晶片產業，永遠落後於鷹醬等西方國家。 這可以說是一個陽謀，但是我們之前沒法破解，因為我們沒有光刻機的核心技術。” 陳小川聽了也是點點頭： “李院士說的對啊！ 但是我這裡要說的是，小，雖然是光刻機的一大特點，但這也是他的悲哀之處！ 這同時也是一個沒有廣袤國土，沒有巨大的人口規模，沒有巨大的消費市場的國家的悲哀！ 他們沒有那麼大的市場來承擔光刻機大型化，甚至巨型化帶來的後果，但是我們能啊！” “我們擁有廣袤無垠的國土面積，擁有巨大的人口基數，擁有全世界消費潛力最大的市場！這就讓這種光刻機巨型化有了用武之地啊！ 難道這種先進技術也要出口嗎？根本用不著！” “所以，我們要製造晶片，就要符合我們的國情！！ 我們沒有超高精密儀器，難道就不能粗糙一點？ 我們沒有製造那麼小的光刻機的能力的話，那麼我們做一個光刻廠呢？ 把光刻機的小型鐳射輻射，變成巨大的光源輻射，我們也應該能夠做到吧！ 嘿嘿！” “光刻廠？？” “光刻廠？” “那得是費老鼻子電了吧！？光刻機一天都是幾萬度電啊……” “是啊，光刻機這一塊兒就挺費電的了
